دیاترمی مایکروویو (short wave diathermy)
کاربرد دستگاه : مانند دستگاه دیاترمی موج کوتاه برای ایجاد گرمای عمقی است لیکن تواتر آن بالاتر است . نفوذ آن کمتر از دستگاه دیاترمی موج کوتاه است و برای کاهش درد مورد استفاده قرار میگیرد . شبیه دستگاه دیاترمی موج کوتاه است . با قرار دادن الکترود در محل درد بیمار و تا حد امکان با فاصله مناسب از بدن ، بیمار گرما را دریافت میکند .

در این دستگاه از فرکانس ۲۴۵۰ مگاهرتز استفاده می شود . برای تولید سیستم نوسان سازی در میکروویو دیاترمی که دارای فرکانسهای بسیار بالاتر است از سیستم مگنترون که عبارت است از یک لامپ خلا که دارای یک کاتد استوانه ای و یک فیلامان گرم کننده است استفاده می شود .